Вакуум бүрэлдэхүүн хэсгүүд

Дулааны боловсруулалт нь голчлон исэлдүүлэх, тархах, задлах процессуудыг агуулдаг.Исэлдүүлэх нь цахиур ялтсуудыг өндөр температурт зууханд хийж, хүчилтөрөгчтэй урвалд орж, хавтанцарын гадаргуу дээр цахиур үүсгэдэг нэмэлт процесс юм.Диффуз гэдэг нь молекулын дулааны хөдөлгөөнөөр бодисыг өндөр концентрациас бага концентрацитай бүс рүү шилжүүлэх бөгөөд тархалтын процесс нь цахиурын субстрат дахь тодорхой допингийн бодисыг допинг хийхэд ашиглаж, улмаар хагас дамжуулагчийн дамжуулалтыг өөрчилдөг.